电子级羟基乙叉二膦酸（HEDP）

一、性能与用途

电子级HEDP为电子级高纯产品，具有很强的金属离子螯合能力，在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺，可以提高研磨效率和光洁度，在显示面板、PCB板蚀刻加工过程中使用可以减少毛刺，提高铜箔表面光洁度。

二、技术指标

三、包装与贮存

电子级HEDP液体用电子级塑料桶包装，每桶25kg或200kg，可根据客户需求定制。贮存于室内阴凉通风处，贮存期十二个月。

四、安全与防护

电子级HEDP为酸性，操作时注意劳动防护，应避免与皮肤、眼睛等接触，接触后应立即用大量清水冲洗。